USHIO hat offiziellen Auftrag von Forschungsinstitut CiS in Deutschland für Lithographiesystem UX4 zur großflächigen Vollfeldprojektion

USHIO INC. (TOKIO: 6925) (Präsident und CEO: Shiro Sugata hat heute bekannt gegeben, dass das Unternehmen über seine hundertprozentige Tochtergesellschaft USHIO EUROPE B.V. von dem deutschen CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH (nachfolgend CiS) einen Auftrag für sein Lithographiesystem UX4 zur großflächigen Vollfeldprojektion erhalten hat. Das UX4-System, das für Forschung und Entwicklung sowie für die Herstellung von MEMS-Geräten optimiert ist, soll im November an das CiS geliefert werden.

Beim UX4-System wird eine Vollfeld-Projektionsbelichtungsmethode verwendet, die völlig kontaktfrei ist, damit Maske oder Wafer nicht beschädigt werden: hoch präzise Belichtung eines mehrschichtigen Substrats oder dicken Fotolacks ist damit möglich. USHIO bietet seine UX4-Systeme individuell zugeschnitten für eine Vielfalt von Geräten an, darunter MEMS und Leistungsgeräte wie die UX4-Serie. Zum UX4-System gehört eine Reihe leistungsfähiger Funktionen wie die urheberrechtlich geschützte Ausrichtungstechnologie, mit der die einfache Erkennung schlecht sichtbarer Justiermarken, die simultane Projektion auf beiden Seiten eines Wafers zur Erhöhung der Produktivität, die Kapazität zur Vollfeldbelichtung von bis zu 200-mm-Wafern und eine maximale Auflösung von 2 µm L/S möglich ist.

"Wir haben ein Proximity-Belichtungssystem verwendet, aber die Notwendigkeit erkannt, zu einer anderen Belichtungsmethode zu wechseln, um der Notwendigkeit für feinere Muster und höhere Produktivität gerecht zu werden. Das Vollfeld-Projektionsbelichtungs-Lithographiesystem erfüllt unseren Bedarf völlig. Ich bin der Ansicht, dass es uns ermöglicht, unsere Forschung zu beschleunigen und einen wichtigen Beitrag zur Verbesserung der Produktivität von Verbindungshalbleiter- und MEMS-Systemen zu leisten sowie die Präzision und Dichte dieser Systeme zu erhöhen”, sagte Dr. Thomas Ortlepp, Leiter Forschung, Entwicklung und Technologie beim CiS, dazu.

"Das UX4 ist mit der von USHIO ursprünglich entwickelten Projektionslinse ausgerüstet, um Vollfeld-Projektionsbelichtung zu ermöglichen, ohne in Kontakt mit der Maske oder dem Wafer zu kommen. Wir gehen davon aus, dass das CiS seine Forschung und Entwicklung beschleunigen kann und so eine Verbesserung seiner Produktivität sowie eine Senkung der Kosten für die Herstellung von MEMS-Geräten in Europa ermöglichen wird”, sagte Masayuki Itaba, Geschäftsführer für den Bereich Belichtung bei USHIO INC.

USHIO ist auf der SEMICON Europa 2014 vom 7. bis 9. Oktober in Grenoble (Frankreich) an Stand 235 vertreten. Dort wird das Unternehmen seine Lithographiesysteme der UX-Serie – darunter dieses UX4-System – über eine Podiumsvorführung unter dem Motto "USHIO-Vollfeldprojektion” ausstellen, um optimale Lösungen für Verpackungsanwendungen der nächsten Generation zu zeigen.

Über das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik und Photovoltaik GmbH

Das CiS ist ein gemeinnütziges Forschungsinstitut mit Sitz in Erfurt (Deutschland). Es führt industrieorientierte Forschung mit Schwerpunkt auf Mikrosensoren und Mikrosystemtechnologie durch. Im Namen von Bundes- und Landesministerien und -ämtern oder unterstützt von diesen übernimmt das CiS zukunftsweisende Forschungsprojekte, die zu Innovationen im privaten und öffentlichen Sektor beitragen. Das Institut bietet außerdem Forschungs- und Entwicklungsservices für kleine und mittelständische Unternehmen an, mit denen deren eigene Forschungs- und Entwicklungs-Kapazitäten unterstützt werden.

Siehe http://www.cismst.org/en/profil/willkommen-bei-cis/.

Über USHIO INC.

USHIO INC., gegründet 1964 (TOKIO: 6925), ist ein führender Hersteller von Lichtquellen wie Lampen, Lasern und LEDs mit einer breiten Palette, die von Ultraviolettlicht über sichtbares Licht bis hin zu Infrarotstrahlen reicht, sowie optischen Geräten und Kinoprodukten, bei denen diese Lichtquellen Verwendung finden. Das Unternehmen stellt ferner Produkte im elektronischen Bereich (etwa Halbleiter, Flachbildschirme und elektronische Komponenten) und im Bereich visuelle Bildgebung (einschließlich digitaler Projektoren und Beleuchtung) her. Viele dieser Produkte haben eine marktbeherrschende Stellung. In den letzten Jahren hat USHIO Geschäftstätigkeiten im Bereich Life Sciences aufgenommen, etwa in den Bereichen Medizin und Umweltschutz.

Siehe http://www.ushio.co.jp/en/.

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