Oerlikon Systems: Merhrfachbestellungen für CLUSTERLINE Sputteranlage

Oerlikon Systems (SWX:OERL), ein führender Anbieter von PVD Sputteranlagen, liefert einen substanziellen Beitrag zur beginnenden Wiederbelebung der Halbleiterindustrie. Während des laufenden Quartals haben wichtige Semiconductor Hersteller in Taiwan und Südostasien Aufträge über mehrere 300mm CLUSTERLINE PVD Sputteranlagen für den Packaging Markt platziert.

"Im letzten Jahr spürten wir erfreulicherweise bei vielen Herstellern weltweit ein durchgängig hohes Interesse an der CLUSTERLINE", erläutert Andreas Dill, Geschäftsführer Oerlikon Systems. "Die neueste Zunahme von Bestellungen bestätigt uns darin, dass wir zum einen die richtige Produktionslösung für die nächste Produktgeneration anbieten und dass andererseits unsere Industrie Zeichen stabiler Aktivitäten aufweist."

Die CLUSTERLINE 300 Anlagenplattform ist speziell für Anwendungen in Advanced Packaging und für Rückseiten-Metallisierung von Wafergrößen bis zu 300 Millimeter entwickelt. Die jüngsten Aufträge, die von führenden asiatischen Unternehmen im Bereich Advanced Packaging bei Oerlikon Systems eingingen, sind für Anlagen zur Herstellung hochentwickelter MEMS, Power ICs und optoelektronischer Bauteile bestimmt. Nebst drei etablierten Oerlikon Kunden entschied sich der vierte, ein Neukunde, nach einem wettbewerbsintensiven Kopf-an-Kopf-Auswahlprozess für Oerlikon.

"Über Jahre hinweg legten wir unseren Schwerpunkt darauf, innovative Produktlösungen für UBM (Under Bump Metallization), RDL (Redistribution Layers) Rückseiten- Metallisierung und das Beschichten von ultradünnen Wafern zu entwickeln", ergänzt Dill. "Unsere kontinuierlichen Prozessverbesserungen in dieser dritten Generation Clustertool führte zu einer verlässlichen und hochflexiblen Plattform von überragender Kosteneffizienz – mit weiterer Erhöhung des Waferdurchsatzes und –ausbeute, unterstützt durch eine einfache Bedienung."

Über Oerlikon – Enabling High Technology

Oerlikon (SWX:OERL) zählt weltweit zu den erfolgreichsten Hightech Industriekonzernen mit einem Fokus auf Maschinen- und Anlagenbau. Das Unternehmen steht für führende Industrielösungen und Spitzentechnologien und ist in den sechs Segmenten Textilmaschinen- und Anlagenbau, Dünnschicht-Solar, Dünnfilm-Beschichtung, Antriebs-, Präzisions- und Vakuumtechnologie tätig. Als Unternehmen mit schweizerischem Ursprung und einer 100jährigen Tradition ist Oerlikon mit über 16.000 Mitarbeitern an 158 Standorten in 37 Ländern heute ein Global Player und erwirtschaftete 2008 einen Umsatz von CHF 4,8 Mrd. Das Unternehmen ist in den jeweiligen globalen Märkten an erster oder zweiter Position.